SEMI F8 - 引張り力を受けた場合のフロロカーボン製チューブ継手接合部のシール能力を評価する試験方法

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,Liquid Chemical Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は201364日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20137月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1992年発行,前版は19989月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

本方法は,接合部が引張り力を受けた場合,フロロカーボン材質でできたチューブ継手接合部のシール能力を測定する一定の手順を提供するものである。

 

本方法は,ここに述べられている条件下で作成された試験データに基づき,チューブ継手接合部の特性を記述するのに使用することができる。

 

本方法において定義されるチューブは,管状の形をしており,フロロカーボン材質でできている。

 

この方法において定義されるチューブフィッティングのうち内部の液体と接触する全ての部分は,フロロカーボン材質でできている。

 

ナット,グリッパ等のような部品は,フロロカーボン材質で作成されなくてもよい。

 

チューブと評価されているチューブフィッティングの間のシールのみ,本文書の適用範囲内である。他の全ての装着シールは本ドキュメントの範囲外である。

 

種々のチューブフィッティング間または製造者間における比較のためにこの方法を使用する場合には,ユーザは評価されるべきチューブおよびチューブフィッティングを明確に選択しなければならない。

 

本ドキュメントにおける計量の標準単位としては,国際単位系(SI)が使用される。U.S.慣例単位は参考目的のみのために括弧内に併記され,最も近い数値に丸められてきた。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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