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SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブフィッティング接合部の漏洩特性を測定する試験方法 -
Abstract
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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
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NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.
この方法は，サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン材質でできたチューブフィッティング接合部の漏洩特性を測定する一定の手順を規定するものである。
この方法は，ここに述べられている条件のもとに作成された試験データに基づき，チューブフィッティング接合部の特性を記述するのに使用することができる。
この方法において定義されるチューブは，管状の形をしており，フロロカーボン材質でできている。
この方法において定義されるチューブフィッティングのうち内部の液体と接触する全ての部分は，フロロカーボン材質でできている。
ナット，グリッパ等のような部分は，フロロカーボン材質で作成されなくてもよい。
チューブと評価されているチューブフィッティングの間のシールのみ，本文書の範囲内である。他の全ての装着シールは本文書の範囲外である。
種々のチューブフィッティング間又は製造者間における比較のためにこの方法を使用する場合には，ユーザは評価されるべきチューブ及びチューブフィッティングを明確に選択しなければならない。
本ドキュメントにおける計量の標準単位としては，国際単位系（SI）が使用される。U.S.慣例単位は参考目的のみのために括弧内に併記され，最も近い数値に丸められてきた。
Referenced SEMI Standards
None.
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