SEMI F10 - フッ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるのに必要な内部圧力を決定するためのテスト方法 -
Abstract
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NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.
本法は，ふっ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるに必要な内部圧力を決定するための標準手順を規定する。
本法は，以下に述べる条件のもとで得たテストデータをベースにして，チューブフィッティングの性能を決定するために使用することが出来る。しかし，その結果は性能レーティングを意図するものではない。
本法で定義するチューブは，フッ素樹脂製でかつ，円形断面を呈するものであること。
本法で定義するチューブフィッティングは，内部流体に接する部分が全てフッ素樹脂製であること。
ナット，グリッパー等の部品は，フッ素樹脂製である必要はない。
評価対象となるチューブ及びチューブフィッティング間のシール部分のみを本法の適用範囲内とする。ネジシール等，他の全ての部分にあっては，本法の適用範囲外とする。
種々のチューブフィッティング及び又は製造者間で比較評価をするために本法を採用する時，ユーザは評価しようとするチューブとチューブフィッティングを選定する際に，選定した仕様を明確にしておくこと。
本法において標準計量単位は，国際単位系（SI）を使用するものとする。米国慣用単位を参考値として（ ）内に丸めて近似値として示す。
Referenced SEMI Standards
None.
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