SEMI F10 - フッ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるのに必要な内部圧力を決定するためのテスト方法

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

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NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本法は,ふっ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるに必要な内部圧力を決定するための標準手順を規定する。

 

本法は,以下べる条件のもとでたテストデタをベスにして,チュブフィッティングの性能決定するために使用することが出来る。しかし,その結果性能ティングを意図するものではない。

 

本法定義するチュブは,フッ素樹脂製でかつ,円形断面するものであること。

 

本法定義するチュブフィッティングは内部流体する部分てフッ素樹脂製であること。

 

ナット,グリッパー等の部品は,フッ素樹脂製である必要はない。

 

評価対象となるチュびチュブフィッティングのシ部分のみを本法適用範囲内とする。ネジシての部分にあっては,本法適用範囲外とする。

 

種々のチュブフィッティング製造者間比較評価をするために本法採用するザは評価しようとするチュブとチュブフィッティングを選定するに,選定した仕様明確にしておくこと。

 

本法において標準計量単位は,国際単位系(SI)を使用するものとする。米国慣用単位参考値として( めて近似値としてす。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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Regular price Non-Member Price: $180.00