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SEMI F11 - フッ素樹脂製チューブフィッティングの熱的特性指標を得るための試験方法 -
Abstract
NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.
免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.
本方法は，フッ素樹脂製チューブフィッティングの熱的特性を決定するための標準手順を規定する。
本方法は，以下に述べる条件のもとで得た試験データをベースにして，チューブフィッティングの性能を決定するために使用することが出来る。しかし，その結果は性能レーティングを意図するものではない。
本方法で定義するチューブは，フッ素樹脂製でかつ，円形断面を呈するものであること。
本方法で定義するチューブフィッティングは，内部流体に接する部分が全てフッ素樹脂製であること。
ナット，グリッパ等の部品は，フッ素樹脂製である必要はない。
評価対象となるチューブ及びチューブフィッティング間のシール部分のみを本方法の範囲内とする。ネジシール等，他の全ての部分にあっては，本方法の範囲外とする。
種々のチューブフィッティング及び又は製造者間で比較評価をするために本方法を採用する時，ユーザは評価しようとするチューブとチューブフィッティングを選定する際に，選定した仕様を明確にしておくこと。
本方法において標準計量単位は，国際単位系（SI）を使用するものとする。
米国慣用単位を参考値として（ ）内に丸めて近似値として示す。
Referenced SEMI Standards
None.
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