F01200 - SEMI F12 - フッ素樹脂製フィッティングの熱サイクル負荷後のシール性能決定の試験方法

SEMI F12 - フッ素樹脂製フィッティングの熱サイクル負荷後のシール性能決定の試験方法 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI F12-0998 - Inactive

Revision

Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項：　このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

　

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本試験方法は，フッ素樹脂製フィッティングのシール性能について，高温の雰囲気中に曝し，次に室温まで冷やした後（ここでは熱サイクルと呼ぶ），性能評価をする画一的手法を提供するものである。

 

本試験方法は，フィッティングの熱的特性を本文中に述べる条件の下で得られた試験データに基づいて特性づけるのに使用できるが，その結果により性能順位を暗示する意図はない。

 

本試験方法を用いる場合は，フィッティングの温度を23～125°C（73～257°F）の範囲で保持させなければならない。

 

本試験方法に規定するチューブは，フッ素樹脂製とする。

 

本試験方法に規定するフィッティングは，内部流体に接触する全ての部品がフッ素樹脂製である。ナット，グリッパ等の部品は，必ずしもフッ素樹脂製でなくてもよい。

 

チューブとフィッティングの間のシールのみが本試験方法の評価の範囲内である。その他のシールは，すべて本試験本法の範囲外である。

 

各種のフィッティングメーカー間の比較をするために本法を使用する場合，ユーザは評価すべきチューブおよびフィッティングの選択を明確に指定しなければならない。

　

Referenced SEMI Standards

None.

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