SEMI F12 - フッ素樹脂製フィッティングの熱サイクル負荷後のシール性能決定の試験方法 -
Abstract
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本試験方法は，フッ素樹脂製フィッティングのシール性能について，高温の雰囲気中に曝し，次に室温まで冷やした後（ここでは熱サイクルと呼ぶ），性能評価をする画一的手法を提供するものである。
本試験方法は，フィッティングの熱的特性を本文中に述べる条件の下で得られた試験データに基づいて特性づけるのに使用できるが，その結果により性能順位を暗示する意図はない。
本試験方法を用いる場合は，フィッティングの温度を23～125°C（73～257°F）の範囲で保持させなければならない。
本試験方法に規定するチューブは，フッ素樹脂製とする。
本試験方法に規定するフィッティングは，内部流体に接触する全ての部品がフッ素樹脂製である。ナット，グリッパ等の部品は，必ずしもフッ素樹脂製でなくてもよい。
チューブとフィッティングの間のシールのみが本試験方法の評価の範囲内である。その他のシールは，すべて本試験本法の範囲外である。
各種のフィッティングメーカー間の比較をするために本法を使用する場合，ユーザは評価すべきチューブおよびフィッティングの選択を明確に指定しなければならない。
Referenced SEMI Standards
None.
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