SEMI F15 - 筐体の試験方法(六フッ化硫黄のトレーサガス)のSEMI S6への移行

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Environmental Health & Safety Committeeで技術的に承認されている。現版は2011912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201110月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1993年発行。前版は20083月発行。

 

注意: 本文書は,2011年,バロット投票により廃止が承認された。

 

本文書の目的は,SEMI F15が撤回され,その技術的な内容がSEMI S6の付属書2「トレーサガスを使用して漏洩放出物を測定するためのテスト方法」に取って代わられたことを示すことである。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI F15-93 (Reapproved 1104) — Test Method for Enclosures Using Sulfur Hexafluoride Tracer Gas and Gas Chromatography
SEMI S6 — EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment

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