F02000 - SEMI F20 - 高純度および超高純度の半導体製造アプリケーションで使用される汎用コンポーネント用の316Lステンレス鋼の棒鋼,鍛造品,押出成形品,鋼板,鋼管の仕様

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年発行。前版は2006年7月発行。

  

本仕様の目的は,汎用や高純度,超高純度の化学物質(気体または液体)分配システム用コンポーネントを製造するために用いられる316Lステンレス鋼に必要な冶金学的清浄度に関する要求条件および材料組成を定義することである。

 

本仕様は,半導体製造設備で使用される汎用および高純度の化学物質(気体または液体)分配システムコンポーネントを製造するために用いられる316Lステンレス鋼に対する要求条件を,定義する。316L鋼は,棒鋼や鍛造品,押出成形品についてはASTM A276に定義され,鋼板についてはASTM A240に定義され,鋼管についてはASTM A269およびA632に定義されるものである。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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