SEMI F21 - 清浄な環境における空気を媒体とする分子汚染レベルの分類

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本ガイドは,Global Facilities Committeeで技術的に承認されたもので,North American Facilities Committeeが直接責任を負うものである。現版は,2002年8月29日 North American Regional Standards Committeeに承認されている。2002年9月にまずwww.semi.orgで入手可能,2002年11月発行に至る。初版は1995年発行。

 

本スタンダードの目的は,マイクロエレクトロニクスの清浄な環境を,分子(粒子ではない)汚染レベルに関して分類することである。この標準分類は,空気を媒体とする特定の分子汚染のグループについて,許容可能汚染レベルの一貫したコミュニケーション方法を提供する。本スタンダードに添付される関連情報1を参照のこと。

 

この標準分類は,半導体の清浄な環境(プロセス装置の環境を含む)と,清浄度の制御維持装置の性能に対する仕様において利用される。

 

本スタンダードはその使用に関連した全ての安全問題を取り扱うことを意図していない。このスタンダードの使用者は,その責任において,適切な安全及び健康上の作業方法を確立し,また使用前に規制上の制限への適用性を判断するものである。

 

Referenced SEMI Standards

None.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00