SEMI F23 - グレード10/0.2 引火性特殊ガスの粒子に関する仕様
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type:
Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年6月18日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年7月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年6月発行。前版は2003年3月発行。
本書はグレード10/0.2引火性特殊ガスの粒子の最大許容濃度を設定し，それを検証するための参照方法について記述することを目的とする。
本書は8 × 105 Pa （8気圧）以下の圧力下で特殊ガスシステムから供給される引火性ガスにのみ適用する。この方法は8 × 105 Pa （8気圧）以上の圧力で高圧シリンダから直接サンプリングを行う場合には適していない。本書は下記に示すガスにのみ適用される。
| 水素（H2） |
Referenced SEMI Standards
SEMI C6.3 — Particle Specification for Grade 20/0.2 Hydrogen (H2) Delivered as Pipeline Gas
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