SEMI F26 - グレード10/0.2 有毒特殊ガスの粒子に関する仕様

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012618日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20127月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は19976月発行。前版は20033月発行。

 

本書はグレード10/0.2有毒特殊ガスの粒子の最大濃度を設定し,それを検証するための基準方法について記述することを目的とする。

 

本書は8 × 105 Pa 8気圧)以下の圧力下で特殊ガスシステムから供給される有毒ガスにのみ適用する。この方法は8 × 105 Pa 8気圧)以上の圧力で高圧シリンダから直接サンプリングを行う場合には適していない。本書は下記に示すガスにのみ適用される。

アンモニア(NH3

ヒ化水素(AsH3

ホスフィン(PH3

 

Referenced SEMI Standards

None.

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