SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効果のテスト方法

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20116月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20039月発行。前版は,200311月発行。

 

本文書が定義しているのは,半導体製造に使用されるガスソースシステムのパージ効果の最低許容レベルを決定するため推奨されるパージ効果テスト方法である。それはさらにガスソース機器の調達の助となることを意図している。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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