F02900 - SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効果のテスト方法

SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効果のテスト方法 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI F29-0997 (Reapproved 0611) - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年9月発行。前版は，2003年11月発行。

　

本文書が定義しているのは，半導体製造に使用されるガスソースシステムのパージ効果の最低許容レベルを決定するため推奨されるパージ効果テスト方法である。それはさらにガスソース機器の調達の助となることを意図している。

　

Referenced SEMI Standards

None.

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