SEMI F30 - 据付現場における微量ガス不純物およびパーティクルに関する精製器性能テストの始動および検証

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は2010430日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1998年発行。

 

本手順の目的は精製器の性能を検証することであるが,それには分析機器を使用しガス不純物およびパーティクルを顧客仕様書に合わせて測定して検証する。特定の入口および/または入口の測定が要求される場合,顧客と事前に打ち合わせを行うべきである。入口不純物は100万分の1単位(ppm)または10億分の1単位(ppb)の分析ができる機器で測定されなければならない。この手順は,毎分50リットル(LPM)を超える大規模な流量のバルク精製器に対してだけ適用される。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI F58 — Test Method for Determination of Moisture Dry-Down Characteristics of Surface-Mounted and Conventional Gas Delivery Systems by Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectroscopy (APIMS)
SEMI F68 — Test Method for Determining Purifier Efficiency

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