SEMI F30 - 据付現場における微量ガス不純物およびパーティクルに関する精製器性能テストの始動および検証 -

Abstract

本スタンダードは，global Gases Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1998年発行。

 

本手順の目的は精製器の性能を検証することであるが，それには分析機器を使用しガス不純物およびパーティクルを顧客仕様書に合わせて測定して検証する。特定の入口および／または入口の測定が要求される場合，顧客と事前に打ち合わせを行うべきである。入口不純物は100万分の1単位（ppm）または10億分の1単位（ppb）の分析ができる機器で測定されなければならない。この手順は，毎分50リットル（LPM）を超える大規模な流量のバルク精製器に対してだけ適用される。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI F58 — Test Method for Determination of Moisture Dry-Down Characteristics of Surface-Mounted and Conventional Gas Delivery Systems by Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectroscopy (APIMS)
SEMI F68 — Test Method for Determining Purifier Efficiency

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