SEMI F33 - 気圧イオン化質量分析計(APIMS)の較正のためのテスト方法 -

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Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI F33-0708 - Inactive



NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。



本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年5月13日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年6月にwww.semi.orgで。


NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.




この方法は,100 pptの目標不純物範囲から200 ppbの不純物範囲と同程度までのAPIMSの検体較正に適用される。実際の較正範囲は,実施すべき測定によって,対象となる不純物測定を一まとめにする必要がある。その他のいずれも較正の範囲外である。


Referenced SEMI Standards

SEMI C9.1 — Guide for Analysis of Uncertainties in Gravimetrically Prepared Gas Mixtures
SEMI C15 — Test Method for ppm and ppb Humidity Standards

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