SEMI F33 - 気圧イオン化質量分析計(APIMS)の較正のためのテスト方法

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年5月13日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年6月にwww.semi.orgで。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

このテスト方法は,窒素,アルゴン,ヘリウムおよび水素に含まれる不純物を測定するためのAPIMSの較正に関するガイドラインを提供する。現在,APIMSは,ガス供給システムと構成部品の中に存在する低いレベルの不純物を測定するための選ばれた技術である。その理由は,APIMSは,本質的にはppt不純物分析を行える唯一商業的に利用可能な方法であり,優れた応答時間を実現することができるためである。この方法は,この時点では商業的に利用可能ではないかもしれない,APIMSと同様の検出限界と応答時間を備えたその他の技術を適用するためのガイドラインを提供する場合もある。

 

この方法は,100 pptの目標不純物範囲から200 ppbの不純物範囲と同程度までのAPIMSの検体較正に適用される。実際の較正範囲は,実施すべき測定によって,対象となる不純物測定を一まとめにする必要がある。その他のいずれも較正の範囲外である。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI C9.1 — Guide for Analysis of Uncertainties in Gravimetrically Prepared Gas Mixtures
SEMI C15 — Test Method for ppm and ppb Humidity Standards

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00