SEMI F34 - 液体化学薬品配管ラベリングに関するガイド

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

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NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本文書では,半導体製造施設および装置において使用される液体プロセス化学薬品配管システムのラベリングについて推奨される方式を確立する。

 

一貫したラベリングシステムは,配管内容物の迅速な識別を容易にするものであり,各社または各地域が独自のガイドを作成する必要性をなくすことによって産業における混乱を避ける。

 

ガイドは,通常半導体製造プロセス用の液体プロセス化学薬品配管システムにおいて見出される構成部品について適用する。以下の一覧は適用範囲に含まれる構成部品であるが,すべてを網羅しているではない。

  • 配管
  • バルブ
  • フィルタ
  • レギュレータ
  • チューブ

 

Referenced SEMI Standards

None.

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