SEMI F37 - ガス供給システム構成部品の表面粗さパラメータの算出方法

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20116月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は19992月発行。前版は200411月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い再承認された。

 

この試験方法の目的は,ガス供給システム構成部品上で測定される表面粗さパラメータの数値を算出する方法を定義することである。この試験方法の適用が目的とするのは,この試験方法の利用者間で比較可能なデータを作成することである。

 

Referenced SEMI Standards

None.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00