F03800 - SEMI F38 - ユースポイントガスフィルタの効率資格付けを目的とした試験方法

SEMI F38 - ユースポイントガスフィルタの効率資格付けを目的とした試験方法 -

Member Price: $164.00
Non-Member Price: $215.00

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI F38-0699 (Reapproved 0611) - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年6月発行。前版は，2004年11月発行。

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い再承認された。

　

本文書の目的は，ユースポイント（POU）ガスフィルタを使用して達成可能なパーティクル濾過効率を資格付けるための，包括的な標準試験シーケンスを定義することである。

　

Referenced SEMI Standards

None.

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