SEMI F38 - ユースポイントガスフィルタの効率資格付けを目的とした試験方法

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011513日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20116月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は19996月発行。前版は,200411月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い再承認された。

 

本文書の目的は,ユースポイント(POU)ガスフィルタを使用して達成可能なパーティクル濾過効率を資格付けるための,包括的な標準試験シーケンスを定義することである。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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