SEMI F40 - 化学試験のための薬液分配部品の準備についての作業方法

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本実施法は,Global Facilities Committeeで技術的に承認されたもので,North American Facilities Committeeが直接責任を負うものである。現版は1998年12月18日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認された。1999年2月にまずSEMI On Lineで入手可能になり,1999年6月発行に至る。

本文書は2005年5月に参照項目の訂正のため,編集上の修正がなされた。変更されたのは¶10.2と表1である。

 

この文書は,薬液分配システム部品を評価するために用いられる化学試験方法についての部品の準備及び前処理の手順を規定する。

 

この文書は,チューブ,パイプ,バルブ,レギュレータ,継手,ガスケット,Oリング及びフィルタハウジングのような部品に適用できる準備手順を含む。

 

この文書は,薬液分配システム部品の列挙された試験方法(表3参照)に共通した部品前処理及び分析基準の全てを定義し,仕様を定める。各タイプの部品は,出所の明らかな化学試験方法を用いて試験される前に,この文書の手順に従って前処理され,準備されるべきである。

 

この文書は薬液分配システム部品を評価するために用いられる化学試験方法についての部品の準備及び前処理の手順を規定する。この作業方法は,49%HF,30%H2O2,29%NH4OH,IPA及び超純水の使用について定めている。この文書は,薬液分配システム部品を溶出及び洗浄するために使用される化学物質の純度を規定する。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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