SEMI F43 - ユースポイントガス精製器およびガスフィルタによるパーティクルに対する寄与度を定量化するための試験方法 -

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Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI F43-0308 (Reapproved 0613) - Current



本スタンダードは,Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は201364日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20136月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は19996月発行。前版は20083月発行。




本文書では,標準状態のもとでPOU精製器およびフィルタのパーティクル発生性能の比較を行うために考案された試験方法について説明する。この手順では,一般に半導体用途のインラインガスフィルタおよび精製器に適用されている凝縮核カウンタ(CNC)を利用する。本試験方法は,室温で動作させる様々な種類の機能部品に適用される。精製器の定格フローは,050標準リットル/分(slm)の範囲内でなければならない。フィルタにおける流量は 0100 標準リットル/分(slm の範囲でなければならない。<0} 本方法をより大流量の機能部で使用する場合,試験パラメータは製造業者とユーザで合意しておかなければならない。




Referenced SEMI Standards

SEMI E49.8 — Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI F19 — Specification for the Surface Condition of the Wetted Surfaces of Stainless Steel Components

SEMI F70 — Test Method for Determination of Particle Contribution of Gas Delivery System

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