SEMI F52 - 半導体及びFPD製造の薬液供給システム用メトリックPFAチューブの寸法仕様 -
Abstract
NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.
免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本仕様は，Global Liquid Chemical Distribution Systems Committeeで技術的に承認されたもので，日本地区ケミカルシステム委員会が直接責任を負うものである。現版は2000年1月14日に日本地区スタンダート委員会にて承認された。2001年8月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2001年11月発行に至る。初版は2000年6月発行。
NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.
本文書では，半導体及びFPD製造の製造装置及び設備における薬液供給用メトリックPFAチューブのサイズ及び測定方法を規定する。
本文書はPFAで作られたメトリックサイズのチューブに適用される。
Referenced SEMI Standards
None.
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