SEMI F57 - 超純水および薬液供給システム内に使用するポリマー製材料および部品の仕様

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

免責事項:このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは, Liquid Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は20131223日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20143月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は200010月発行。前版は20123月発行。

 

本書は,超純水(UPW)配分システムでのUPWの運搬に適した超高純度(UHP)ポリマー材料およびポリマー製部品に対する最低限の性能要求条件を規定する。UPWシステムに関する詳細な情報については,SEMI F61を参照すること。

 

また,本書はUHP薬液供給システム(LCDS)に使用されるポリマー材料およびポリマー製部品の使用についての推奨を行っている。本書に記載されたこのような供給システムには,バルク供給,分配設備,およびプロセス装置のアプリケーションが含まれる。

 

本書の要求条件は,UPWを使用し温度を上昇させた状態での材料および部品の試験に焦点を当てているが,本書のユーザが検討する可能性のある腐食剤,酸化剤等の化学薬品も適用対象となる。しかし,考え得るあらゆる接液する薬液に対する膨大な数の試験パラメータを定義することは,本書の範囲外である。ただし,本書は,サプライヤやエンドユーザがUPW以外の化学薬品を使用した試験,またはその他の温度条件での試験を行う可能性や,また,本書内の要求条件とは独立した独自の内部制限を設ける可能性を排除または制限することを意図したものではない。

 

本仕様書は,ポリマー材料およびポリマー製部品の性能および妥当性に焦点を当てている。ポリマー材料およびポリマー製部品が本書の意図を満たすようにするための動作要求条件は,必要に応じて示されている。要約の一覧は以下のとおりである。

 

適合性の定量的尺度

  • パーティクル発生限度
  • 金属発生限度
  • イオン発生限度
  • 全有機(易酸化性)炭素発生限度
  • 表面粗さ限度

 

適合性の定性的尺度

  • 機械特性
  • 物理特性
  • 耐薬品性
  • 信頼性
  • トレーサビリティ要求条件
  • パッケージング要求条件
  • 証明

 

  • 超純水(UPW
  • 酸, 塩基および酸化剤
  • 水溶性塩溶液
  • 有機溶剤

本文書で規定されている要求条件を満たすポリマー材料および配管システムの部品は,¶ 1.3で述べるUPWおよびLCDSに適合するよう考慮されなければならない。

 

別々に購入しない限り,Oリング,ガスケットおよびダイアフラムのような小部品から造られたポリマー製部品は,個々の小部品としてではなく,機能部品単位で本書の要求条件を満足しなければならない。例えば,ユニオン継手の一部となっているOリングは,その品質を低下させないように,本書の要求条件を満たしていなければならない。Oリングやガスケットなど,接液部で使用されたり個別に購入されたりする代替のスペアパーツや部品は,適用可能な場合,本スタンダードに適合すべきである。

 

本書内で参照されている浸出テストとこれに関連する要求条件は,静的な状態での数値を提供する。

 

本文書および関連テストは,供給されたままの状態におけるポリマー製部品に対する接液部の性能の要求条件を規定し,ポリマー製部品メーカーの記録上,現状のプロセスが反映される。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E49 — Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Piping Performance, Subassemblies, and Final Assemblies
SEMI F40 — Practice For Preparing Liquid Chemical Distribution Components for Chemical Testing
SEMI F61 — Guide for Ultrapure Water Systems Used in Semiconductor Processing
SEMI F104 — Particle Test Method Guidelines for Evaluation of Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems
SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00