SEMI F58 - 大気圧イオン化質量分析計（APIMS）による表面実装および一般的ガス供給システムの水分ドライダウン特性測定のためのテスト方法 -
Abstract
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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
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本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年6月にwww.semi.orgで。
NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.
本書は，表面実装および一般的ガス配分システム（集積化ガス配分システム）の水分ドライダウン特性（水分除去量）を決定するための手順を説明する。APIMSは，最速応答時間でpptレベルの水分分析が可能な市販技術であるため，動的試験用として広く選択されている方法である。本テスト方法は，現在市販されていないかもしれないAPIMSと同様の検出限界および反応時間をもつ他の技術適用する際のガイドラインとしても使用できる。
本テストの結果は，設計に基づくガス供給システムの定性的等級付けに用いることができる。また，十分に精通している使用者なら，ガス配分システム挙動の数値シミュレーションの入力値として使用することもできる。
本テスト方法は，半導体プロセスに使用されるすべてのタイプの表面実装および一般的ガス配分システムに適用することができる。
試験媒体
－ 試験手順は窒素中で実施する。その他の "不活性" ガスは，異なるパージング特性を持っており，より速くまたはよりゆっくりと乾燥することがある。反応性ガスは，水分に化学的に反応することがある。この試験手順は腐食性の研究に有効かもしれないが，耐腐蝕性に関する検討は本書の範囲外である。結果は，設計の違いに起因する水分発生についての等級付けを提供する。別のガスでの応用を意図したシステムに対しては，しかるべき注意をもって適用することができる。
稼動状態
－ ガス供給システムからの水分発生は，その製造中に発生する汚染，若しくはその後の周囲空気または非乾燥ガスへの暴露が原因となりうる。したがって，二つの主要状況を考えることが必要である。
"初期ドライダウン" 状態は，（受け入れ状態での）システム内の部品の水分含有量によって決定される。これには，製造工程および設計，表面品質，前処理および梱包が絡み合って影響する。
"アップセット反応"状態は, システムが吸収し，それから受け入れ後の暴露中に放出する水分量で決定される。
Referenced SEMI Standards
SEMI C15 — Test Method for ppm and ppb Humidity Standards SEMI F27 — Test Method for Moisture Interaction and Content of Gas Distribution Systems and Components by Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometry (APIMS) SEMI F33 — Method for Calibration of Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometer (APIMS)
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