SEMI F62 - 周囲およびガス温度の影響からマスフローコントローラ性能特性を決定する試験方法

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201111月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20017月発行。前版は20073月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

本文書の目的は,ガス供給システムに組み込むことを検討しているマスフローコントローラ(MFC)の試験方法を規定し,MFCの指示流量と実流量への周囲温度およびガス温度の影響を定量化することである。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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