SEMI F64 - マスフローコントローラの指示および実流量に対する圧力影響を測定する試験方法

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201111月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20017月発行。前版は20073月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

本文書の目的は,ガス供給システムへの設置を検討しているマスフローコントローラ(MFC)の特性を測定する方法を規定することである。本方法は,MFC性能に対する一次側および二次側の定常および過渡圧力条件の影響を定量化する。

 

本書はMFCの圧力の影響を試験し,それを記述することに関して,メーカーとユーザ間に共通のコミュニケーション基盤を提供する。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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