SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,global Liquid Chemical Distribution Systems Committeeで技術的に承認されている。現版は2001年8月3日,Japanese Regional Standards Committeeにて発行が承認された。2001年9月にwww.semi.orgで,そして2001年11月発行となる。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本文書は、半導体およびフラット・パネル・ディスプレイ製造用の薬液供給設備およびプロセス装置において、メトリック系PFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースと、そのボルト取付穴の位置と寸法を規定する。

 

将来の開発を妨げず、ダイアフラムバルブの互換性を促進するように、本文書の範囲を2章に規定されるように制限する。

 

本文書は、表1に記載されたサイズのチューブ中の薬液の流れを遮断および/または制御するために作られたダイアフラムを有する2ポートバルブの取付ベースに適用される。

 

これらのバルブは、PTFE、PFA等耐食性が高く流体汚染性の低い素材から構成される。

 

Referenced SEMI Standards

None.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00