F06600 - SEMI F66 - ステンレス製薬液容器のポート標記及び記号の仕様

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。



本仕様はGlobal Liquid Chemical Distribution Systems Committeeにおいて技術的に承認されたもので,Japanese Liquid Chemical Distribution Systems Committeeが直接責任を負うものである。現版は2001年8月3日にJapanese Regional Standards Committeeにて承認された。2001年9月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2001年11月発行に至る。


NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.








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