SEMI F72 - 不動態化処理した316Lステンレス鋼部品の接ガス表面の酸化膜のオージェ電子分光法(AES)による評価テスト方法

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は200912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20092月にwww.semi.orgで,そして20093月にCD-ROMで入手可能となる。初版は200211月に発行された。

 

本書の目的は,高純度のガス配管システムに取り付けられる不動態化処理した316Lステンレス鋼部品の表面成分を特定するテスト方法を定義することである。本テスト方法は,ステンレス鋼製の配管,継ぎ手,バルブ,その他の部品の接ガス表面に適用し,不動態化処理の有効性を測定することを目的とする。

 

本書は不動態化の効果の指標として,ステンレス・スチール管,継手,バルブ他の部品の接ガス表面を試験して,その表面および表面近くの組成を測定する方法を規定する。

 

本方法の目的は,クロム富化した不動態酸化層内で再現性のよい測定値を得るため,装置の一般的なパラメータおよび測定条件を記述することである。

 

本書では,ステンレス鋼表面のクロム富化した不動態酸化層の成分と厚さを特定し,配管,継ぎ手,バルブ,その他の部品の表面汚染を検出するためのテスト方法について記述する。この手順には,オージェ電子分光法(AES)による表面元素成分の検出と測定が関わる。この手順では,受け入れたままの表面から酸化膜層を貫通しベース金属にまで到る,クロム,鉄,ニッケル,酸素,炭素の深さ方向の成分プロファイルを求める方法についても記述する。本測定方法により,酸化層の厚さおよび不動態化処理された領域全体のクロム富化に関する情報が得られる。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI F19 — Specification for the Surface Condition of the Wetted Surfaces of Stainless Steel Components
SEMI F60 — Test Method for ESCA Evaluation of Surface Composition of Wetted Surfaces of Passivated 316L Stainless Steel Components

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