SEMI F73 - ステンレス鋼部品の接ガス表面状態の走査型電子顕微鏡(SEM)による評価テスト方法

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は200912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20092月にwww.semi.orgで,そして20093月にCD-ROMで入手可能となる。初版は200211月に発行された。

 

本書では,高純度のガス配管システムに取り付けられるステンレス鋼部品の接ガス表面をテストする標準的手順を定義する。この手順は,接ガス表面に現れる微視的な表面欠陥および汚染物の発生や頻度,場合によってはそれらの同定方法を定める。このテスト方法での結果とプロセスガス汚染,あるいは高純度ガス配管システムによるプロセス中での製品歩留との間には,直接的な相関関係は無いことに注意しなければならない。本テスト方法を適用するにあたっては,構成部品の品質認定を目的として,本方法を用いる使用者の間で比較可能かつ再現性のある結果を得ることを目的としている。

 

本方法の目的は,表面状態に関する重要なパラメータを正確で再現性のよい測定値を得るため,分析装置の各種パラメータと諸条件を全体的に記述することである。

 

本手順は,ステンレス鋼製の配管,継ぎ手,バルブ,その他の構成部品の接ガス表面に適用し,表面仕上げと洗浄方法の有効性を決定する。この手法では,接ガス表面上の表面欠陥(ピット,介在物,列状介在物,スクラッチ傷,残留プロセスマーク,粒界,汚染物など)の個数を記述する。しかし,試験材準備中に発生した表面損傷は評価の対象から除外する。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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