SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法

Volume(s): Facilities

Language: Japanese

Type: Single Standards Download (.pdf)

SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Abstract

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版2002年11月発行。前版は2003年11月発行。

本書は，ガス供給システムでのメタルシール設計の使用を評価するためのテスト方法である。表面実装タイプのガスシステムおよび従来のメタル面シール継手システムの両者をカバーする。

Referenced SEMI Standards

SEMI E49 — Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Piping Performance Subassemblies, and Final Assemblies
SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components