SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type:
Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版2002年11月発行。前版は2003年11月発行。
本書は，ガス供給システムでのメタルシール設計の使用を評価するためのテスト方法である。表面実装タイプのガスシステムおよび従来のメタル面シール継手システムの両者をカバーする。
Referenced SEMI Standards
SEMI E49 — Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Piping Performance Subassemblies, and Final Assemblies
SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components
Member Price:
$135.00
Regular price
Non-Member Price:
$180.00