F07400 - SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法

SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
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Revision: SEMI F74-1103 (Reapproved 0710) - Inactive

Revision

Abstract

本書は，ガス供給システムでのメタルシール設計の使用を評価するためのテスト方法である。表面実装タイプのガスシステムおよび従来のメタル面シール継手システムの両者をカバーする。

　

Referenced SEMI Standards
 

SEMI E49 — Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Piping Performance Subassemblies, and Final Assemblies 
SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components 
 

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