SEMI F77 - 腐食性のガスシステムに使用される合金表面の電気化学的臨界孔食温度のテスト方法

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は20091216日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20102月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は20037月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴って,再承認された。

 

このテスト方法の目的は,半導体製造のための腐食性ガス配管システムに使用されるコンポーネントの接液表面の相対的な耐孔食性を決定することである。本テスト方法は,接液表面の耐腐食性能を改善することを意図した合金組成とプロセスを区別することを意図している。

 

本テスト方法では,電気化学的臨界孔食温度(CPT)に基づいた手順を説明する。この方法によって,腐食性ガスシステムに使われる代表的な仕上げ面を持つ配管や試片の接液表面の耐孔食性のランク付け行う。孔食は,半導体用のガス供給システムの主要な腐食破壊形態であると思われる。特に溶接されて腐食性ガスにさらされるコンポーネントや配管で問題である。

 

本テスト方法は,ASTM G150の改作である。この改作版は,配管などのガス供給システムのコンポーネントから切り出した接液表面部や試験片について,テストの実行方法を記載する。これは,水溶液浸漬法である。

 

本テスト方法は,再現性がよく,耐腐食性の定性的(目視)評価に加え,定量的評価(臨界孔食温度)を提供する。

 

本テスト方法は,§ 4.1で参照されるSEMIスタンダードで規格化されている材料およびそれらの材料の溶接部に適用される。

 

本テスト方法は,§ 4.1で規格化されていないその他の耐食性合金およびそれらの溶接部にも使用できる。

 

Referenced SEMI Standards

None.

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