SEMI F79 - ガス配送コンポーネントに使用されるガスのシリコンとの適合性に関するガイド

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年7月発行。

注意：　本文書は，2010年に全面的に改訂された。

本ガイドの目的は，典型的なガス配送系の条件で動作するガス供給システムの接ガス経路において，シリコンと接触するガスの適合性に関するリソース情報を特定することである。

SEMI E52 — Practice for Referencing Gases, Gases Mixtures and Vaporizable Materials Used in Digital Mass Flow Controllers