SEMI F79 - ガス配送コンポーネントに使用されるガスのシリコンとの適合性に関するガイド

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

本スタンダードは,global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010430日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20106月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年7月発行。


注意: 本文書は,2010年に全面的に改訂された。




Referenced SEMI Standards

SEMI E52 — Practice for Referencing Gases, Gases Mixtures and Vaporizable Materials Used in Digital Mass Flow Controllers

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