F09100 - SEMI F91 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様

SEMI F91 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 -

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Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
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Revision: SEMI F91-1012 - Inactive

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年8月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2004年3月発行。前版は2012年3月発行。

　

本スタンダードは，1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネントの特性（仕様）と機械的な寸法を規定する。

　

本スタンダードは，コンポーネントの共通する要求事項，レイアウト，サイズ，詳細な仕様，寸法を含む。

　

本スタンダードは，コンパクトサイズ2ポート2ファスナーコンポーネント（マスフローコントローラ／マスフローメータを除く）に適用される。コンポーネント（バルブ，圧力調整器，圧力変換器，フィルター，清浄器など）は，上部からアクセス可能なファスナー（ボルト等）を使用し，基板（ベース）に実装される。

　

本スタンダードは，308 kPa (44.7 psia)において50 slm以下（窒素換算）の流量調整をするシステムのコンポーネントに適用される。また，本スタンダードは，20° C において3445 kPa (500 psia)以下の使用圧のコンポーネントに適用される。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI E49.8 — Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI F20 — Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used in General Purpose, High Purity and Ultra-High Purity Semiconductor Manufacturing Applications

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