SEMI F94 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様 -

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Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
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Revision: SEMI F94-1012 - Inactive

Revision

Abstract

本スタンダードは,global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012830日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201210月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は20043月発行。前版は20123月発行。

 

本スタンダードは,1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネントの特性(仕様)と機械的な寸法を規定する。

 

本スタンダードは,コンポーネントの共通する要求事項,レイアウト,サイズ,詳細な仕様,寸法を含む。

 

本スタンダードは, 2ポート4ファスナーコンポーネント(マスフローコントローラ/マスフローメータを除く)に適用される。コンポーネント(バルブ,圧力調整器,圧力変換器,フィルター,清浄器など)は,上部からアクセス可能なファスナー(ボルト等)を使用し,基板(ベース)に実装される。

 

本スタンダードは,308 kPa (44.7 psia)において50 slm以下(窒素換算)の流量調整をするシステムのコンポーネントに適用される。また,本スタンダードは,20° C において3445 kPa (500 psia)以下の使用圧のコンポーネントに適用される。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI E49.8 — Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI F20 — Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used in General Purpose, High Purity and Ultra-High Purity Semiconductor Manufacturing Applications

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