SEMI F96 - 液体CVD原料を入れるキャニスターのポート設定のための仕様

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本仕様は,Global Gases Committeeで技術的に承認されたもので,North American Gases Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年4月22日North American Regional Standards Committeeにて承認されている。2004年6月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2004年7月発行に至る。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本文書は,液体のケミカル原料,溶液,溶剤を保持する金属製(例えばステンレス鋼)キャニスターに使用される継手のタイプ,寸法,間隔を規定するものである。

 

本文書は,溶剤に原料を溶解した液を含む「液体原料」(定義を参照)を保持するために使用される,金属製(例えばステンレス鋼)キャニスターに適用される。また,供給システムのin-situクリーニングに使用される溶剤用の容器にも適用される。

 

液体の接続ポート(入口と出口)が含まれ,バルブに対する空圧部接続形状も含む。

 

キャニスターの全体寸法のようなパラメーターは,他のスタンダードにて規定されるものとする。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI F66 — Specification for Port Marking and Symbol of Stainless Steel Vessels for Liquid Chemicals

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Regular price Non-Member Price: $180.00