SEMI F101 - ガス分配システムの圧力レギュレータの性能を決定するための試験方法

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011912日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201111月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は200511月発行。

 

注意: 本文書は,編集上の修正を伴い,再承認された。

 

本文書の目的は,ガスシステムに設置される圧力レギュレータの試験方法を定義することである。この試験方法を適用することによって,性能判断を目的として試験されるレギュレータ間のデータが比較可能になることが期待される。

 

本文書では,レギュレータの性能特性を数値化するための試験方法を規定する。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components


SEMI F32 — Test Method for Determination of Flow Coefficient in High Purity Shutoff Valves



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