SEMI F103 - ステンレススチール製液体原料容器(キャニスター)の形状の仕様

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本スタンダードは,global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年11月21日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年2月にwww.semi.orgで。

 

NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.

 

本文書は,原料容器の最大外径,最大高さおよび内容積を規定するものである。薬液を入れるために設計されたステンレススチール製液体原料容器(以下,原料容器)は,プロセス装置のバブラー,または半導体/フラットパネルディスプレイ製造の薬液分配システムの容器として使用される。

 

本文書は,円筒形状で安定に保持するために底部がフラットもしくは底部にスカートを保有する容器を対象とする。

 

内容積が40リットルを超える原料容器は,本範囲の対象外とする。

 

Referenced SEMI Standards

None.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00