SEMI F104 - 超純水および液体化学薬品分配システムに使用されるコンポーネント評価のためのパーティクル試験方法ガイドライン -

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Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
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Revision: SEMI F104-0312 - Superseded

Revision

Abstract

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免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本書では,超純水(UPW)流中のパーティクルに寄与するコンポーネントを評価し比較するための推奨試験方法を示す。本方法は,SEMI F57のパーティクル試験要求を満たす。

 

パーティクル寄与度を評価する2つの方法を提示する。

 

すすぎ試験法では,コンポーネントの静的状態におけるフラッシングモード時の性能を評価する。これは,パーティクルレベルがユーザ定義の仕様にまで到達するのに必要な分量を示す。

 

サイクル試験法では,コンポーネントの繰り返しの性能を評価し,定常状態での繰り返しよるパーティクルの寄与度を示す。


これらの試験方法は,半導体製造装置よび補助装置に使用するための薬液とUPWシステムコンポーネントに適用される。

 

本書では,UPWを試験媒体として使用しコンポーネントのパーティクル寄与度を測定する方法を説明する。本書において,UPWの定義は本書の¶ 7.4で概述された最小要件を満たしているものとする。

 

これらの方法は,現場用液体光学式パーティクル測定装置(OPM)を使用して性能を定量化する。

 

Referenced SEMI Standards (purchase separately)

SEMI E49 — Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Piping Performance, Subassemblies, and Final Assemblies

SEMI F57 — Specification for Polymer Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems

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