SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法

Volume(s): Facilities

Language: Japanese

Type: Single Standards Download (.pdf)

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Abstract

本スタンダードは，global Facilities Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年8月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2008年3月発行。

この文書は，ガス供給システムのインボードヘリウム漏れのテスト方法を定義する。

従来のメタルフェイスシール方式とサーフェイスマウント方式の両方のガス供給システムに適用される。

このテスト方法は半導体製造工場，研究所ならびに開発分野で使用されすべての種類の高純度ガス供給システムに適用される。

Referenced SEMI Standards

None.