SEMI G52 - 半導体リードフレームのイオン汚染物の測定のための標準測定法(提案) -
Abstract
本測定法は,Global Assembly and Packaging Committeeで技術的に承認されたもので,Japanese Packaging Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年7月23日Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。2004年9月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2004年11月発行に至る。初版は1990年。
本スタンダードは,水分抽出法を用いた,リードフレーム上のイオン汚染を測定する手順について述べている。この方法は(Na+,NH4+,K+,Cl-,NO3-,Br-,SO42-,PO43-)に対し感度を持つ。
注意: このスタンダードおよび安全ガイドラインはその使用に関連した全ての安全問題を取り扱うことを意図していない。この文書の使用者は,その責任において,適切な安全および健康上実施すべき事柄を確立し,また使用前に法規制やその他の制限への適用性を判断するものである。
Referenced SEMI Standards
None.
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G05200 - SEMI G52 - 半導体リードフレームのイオン汚染物の測定のための標準測定法(提案)
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