G09200 - SEMI G92 - 450 mmウェーハ用テープフレームカセットの仕様

SEMI G92 - 450 mmウェーハ用テープフレームカセットの仕様 -

Member Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00

Volume(s): Packaging
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI G92-1113 - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，Assembly & Packaging Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2013年8月22日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2013年11月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。前版は2012年4月発行。

　

本スタンダードの目的は，ウェーハマウンティングプロセスとダイボンディングプロセスの間で使用する450mmウェーハ用テープフレームカセットのメカニカルな形状を標準化することである。

　

本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。

　

テープフレームカセットのメカニカルインタフェースのみが規定されている。すなわち，材料の種類や清浄性については定義しない。

　

本スタンダードは半自動（PGV）と自動搬送（AGVやOHT）両方に対応する450mmウェーハ用フレームカセットを規定する。手動搬送は想定していない。

　

450mmウェーハ用テープフレームカセットは，以下のコンポーネントとオプションコンポーネントを有する。オプションコンポーネントは，450mmテープフレームカセット(TFC)に必要な機能ではなく，顧客の要求や製造上の問題がある場合に追加される。

　

上面

  • トップカバー（オプション）

  • オートメーションフランジ（オプション）

　

内側

  • テープフレーム13枚分または25枚分の棚板

  • テープフレーム飛び出し防止機構

　

側面

  • フォークリフト対応

　

背面

  • 背面カバー（オプション）

  • ラベル貼付領域（オプション）

　

底面

  • 3本のキネマティックカップリングピンと結合する構造

  • 6つのテープフレームカセット検出用パッド

  • テープフレーム飛び出し防止機構解除用バー（オプション）

　

Referenced SEMI Standards

SEMI G88 — Specification for Tape Frame for 450 mm Wafer

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