SEMI G94 - 300mmウェーハ用コインスタック型テープフレーム出荷容器の仕様 -
Abstract
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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本スタンダードは，Assembly & Packaging Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年12月20日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2013年1月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。
本文書の目的は，ウェーハのテストや搬送プロセスで使用される300mmウェーハ用のコインスタック型テープフレーム出荷容器の仕様を標準化することである。
本仕様は，出荷容器の外形寸法（§ 5.1.1 参照）のほか，移載機やプロセス装置と出荷容器間のインターフェースを確保するための要求事項を規定する。
本仕様は，ウェーハ保護のためのクッション材やウェーハの分離のために使用される層間資材についての要求事項を規定する。
本仕様は，出荷容器の材料の電気特性や危険物質の要件に関して規定をする。
金属 (SEMI G74) テープフレーム付きウェーハ・樹脂 (SEMI G87) テープフレーム付きウェーハとも出荷容器への収納枚数は，最大13枚としなければならない。
Referenced SEMI Standards
SEMI G59 —Test Method for Measurement of Ionic Contamination on Leadframe Interleafing and the Contamination Transferred from the Interleafing to the Leadframes
SEMI G74 — Specification for Tape Frame for 300 mm Wafers
SEMI G87 — Specification for Plastic Tape Frame for 300 mm Wafer
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