SEMI G95 - 後工程における450mmウェーハ用テープフレームカセットのためのロードポートの機械的インタフェースの仕様

Volume(s): Packaging
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,Assembly & Packaging Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は201364日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20136月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。

 

本スタンダードは450mm用テープフレームカセット(450TFC)のロードおよびアンロードを行う半導体製造装置において,ロードポートの機械的なインタフェースを定義したものである。この定義により,ロードポートとキャリアの相互運用性を確保し,450TFCを用いた自動化が促進されることを目的とする。

 

本スタンダードのインタフェース仕様は,450mm用テープフレームカセット(450TFC)に準拠するキャリアによって駆動し,結合することを目的としているもので,450TFCに適合している。

 

本スタンダードは450TFCとロードポート間の機械的インタフェースのみ標準化する。

 

本スタンダードでは半自動(PGVなど)や自動搬送(AGVOHTなど)により450TFCをロード,アンロードすることを想定している。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI G88 — Specification for Tape Frame for 450 mm Wafer
SEMI G92 — Specification for Tape Frame Cassette for 450 mm Wafer

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00