G09500 - SEMI G95 - 後工程における450mmウェーハ用テープフレームカセットのためのロードポートの機械的インタフェースの仕様

SEMI G95 - 後工程における450mmウェーハ用テープフレームカセットのためのロードポートの機械的インタフェースの仕様 -

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Volume(s): Packaging
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI G95-0613 - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，Assembly & Packaging Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2013年6月4日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2013年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。

　

本スタンダードは450mm用テープフレームカセット（450TFC）のロードおよびアンロードを行う半導体製造装置において，ロードポートの機械的なインタフェースを定義したものである。この定義により，ロードポートとキャリアの相互運用性を確保し，450TFCを用いた自動化が促進されることを目的とする。

　

本スタンダードのインタフェース仕様は，450mm用テープフレームカセット（450TFC）に準拠するキャリアによって駆動し，結合することを目的としているもので，450TFCに適合している。

　

本スタンダードは450TFCとロードポート間の機械的インタフェースのみ標準化する。

　

本スタンダードでは半自動（PGVなど）や自動搬送（AGVやOHTなど）により450TFCをロード，アンロードすることを想定している。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI G88 — Specification for Tape Frame for 450 mm Wafer
SEMI G92 — Specification for Tape Frame Cassette for 450 mm Wafer

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