SEMI M6 - 太陽光電池用シリコンウェーハの仕様 -
Abstract
本スタンダードは,global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年8月29日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年10月にwww.semi.orgで,そして2008年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1981年発行,前版は2007年7月に発行された。
注意: 本文書は前版のSEMI M6とSEMI M6.1,SEMI M6.2,SEMI M6.3,SEMI M6.4,SEMI M6.5を全面改訂したものである。
本仕様は太陽光(PV)電池の製造に使用されるシリコンウェーハの要求事項について述べている。
Referenced SEMI Standards
SEMI M1 — Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers
SEMI M59 — Terminology for Silicon Technology
SEMI MF26 — Test Methods for Determining the Orientation of a Semiconductive Single Crystal
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M00600 - SEMI M6 - 太陽光電池用シリコンウェーハの仕様
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