SEMI M8 - 鏡面単結晶シリコンテストウェーハの仕様

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は20061121日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20072月にwww.semi.orgで,そして20073月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1982年発行,前版は20063月に発行された。

本仕様は,半導体製造時の機械テストや日常的なプロセスモニターに使用される新品シリコンテストウェーハに対する要求条件について述べている。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI M1 — Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers
SEMI M18 — Format for Silicon Wafer Specification Form for Order Entry
SEMI M24 — Specification for Polished Monocrystalline Silicon Premium Wafers

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00