M00800 - SEMI M8 - 鏡面単結晶シリコンテストウェーハの仕様

SEMI M8 - 鏡面単結晶シリコンテストウェーハの仕様 -

Member Price: $164.00
Non-Member Price: $215.00

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

Revision: SEMI M8-0312 - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年11月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年2月にwww.semi.orgで，そして2007年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1982年発行，前版は2006年3月に発行された。

本仕様は，半導体製造時の機械テストや日常的なプロセスモニターに使用される新品シリコンテストウェーハに対する要求条件について述べている。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI M1 — Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers
SEMI M18 — Format for Silicon Wafer Specification Form for Order Entry
SEMI M24 — Specification for Polished Monocrystalline Silicon Premium Wafers

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