SEMI M10 - ガリウムヒ素ウェーハに見られる構造及び特徴の確認のための標準名称

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本書の目的は,鏡面ガリウムヒ素ウェーハ上に見られる各種特性,特徴及び汚染について規定し,これらの欠陥を観察するために推奨される手段を提供する

 

これらの発生事項はしばしば表面欠陥と呼ばれる。欠陥及び一般的な同義語が4章にアルファベット順に並べられており,それぞれの構造はその最も一般的な名称で呼ばれている。或る場合には多分それが起源であろう。

 

表面処理準備の2つのケースが本書では考えられている。すなわち(1)化学研磨後の表面,(2)機械的研磨及び化学的研磨を実施した表面。

 

本スタンダードには有害物質,それに関するオペレーション,及び装置についての記述がなされている。本スタンダードは有害物質の使用と関連する全ての安全性の問題を扱うものではない。安全性及び衛生に関する実務について相談し,確立し,使用前に法的規制の適用可能性を決定することは本スタンダードの使用者の責任である。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI M9 — Specifications for Round Polished Monocrystalline Gallium Arsenide Slices

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