SEMI M13 - シリコンウェーハの英数字マーキングの仕様

Volume(s): Materials / Traceability

Language: Japanese

Type: Single Standards Download (.pdf)

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Abstract

本スタンダードは，global Traceability Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年5月16日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2006年6月にwww.semi.orgで，そして2006年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1988年発行，前版は2003年11月に発行された。

本仕様は，シリコンウェーハの英数字マーキングシステムについて記述している。マーキングコードが含んでいる情報は，ウェーハ識別数値に加えて，出所（ベンダー），おおよその比抵抗値，ドーパント種および結晶成長方位についてである。本仕様は，ウェーハメーカーによって実施されるすべてのウェーハマーキングの一貫性を保証するものである。この一貫性により，自動光学文字読取装置（OCR）の性能に対する要求条件の簡素化が可能になる。

個々のウェーハを特徴付けるのに用いられる基本的コードを定義することで，本仕様は，実際のオペレータによる解釈に必要な情報を提供する。

Referenced SEMI Standards

None.

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