SEMI M13 - シリコンウェーハの英数字マーキングの仕様

Volume(s): Materials / Traceability
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本スタンダードは,global Traceability Committeeで技術的に承認されている。現版は2006516日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。20066月にwww.semi.orgで,そして20067月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1988年発行,前版は200311月に発行された。

 

本仕様は,シリコンウェーハの英数字マーキングシステムについて記述している。マーキングコードが含んでいる情報は,ウェーハ識別数値に加えて,出所(ベンダー),おおよその比抵抗値,ドーパント種および結晶成長方位についてである。本仕様は,ウェーハメーカーによって実施されるすべてのウェーハマーキングの一貫性を保証するものである。この一貫性により,自動光学文字読取装置(OCR)の性能に対する要求条件の簡素化が可能になる。

 

個々のウェーハを特徴付けるのに用いられる基本的コードを定義することで,本仕様は,実際のオペレータによる解釈に必要な情報を提供する。

 

Referenced SEMI Standards

None.

Member Price: $135.00
Regular price Non-Member Price: $180.00