SEMI M16 - 多結晶シリコンの仕様

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract

本仕様は,global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は,2010827 global Audits & Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。201010月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1989年発行,前版は200311月発行。

 

本仕様が意図しているものは,電子材料グレード単結晶シリコンインゴット成長のために用いられる多結晶シリコンの調達に使用することである。そのようなインゴットは,ウェーハに切断され,その後,半導体デバイス,集積回路,マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)を含む他のマイクロエレクトロニック部品の製造に使用される。

 

Referenced SEMI Standards

SEMI M59 — Terminology for Silicon Technology
SEMI MF1708 — Practice for Evaluation of Granular Polysilicon by Melter-Zoner Spectroscopies
SEMI MF1723 — Practice for Evaluation of Polycrystalline Silicon Rods by Float-Zone Crystal Growth and Spectroscopy
SEMI MF1724 — Test Method for Measuring Surface Metal Contamination of Polycrystalline Silicon by Acid Extraction-Atomic Absorption Spectroscopy

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