SEMI M18 - シリコンウェーハ発注仕様書開発のガdイド -
Abstract
NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.
免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本スタンダードは，Silicon Wafer Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年8月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年9月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1990年発行。前版は2007年11月発行。
NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.
シリコンテクノロジは，集積回路およびデバイス産業の基盤である。シリコンウェーハは，電子機器に使用されるほとんどの集積回路およびデバイスの基礎である。さまざまな種類のシリコンウェーハ製品の仕様書に記載しなければならないパラメータが記載されている共通の様式があれば非常に役に立つ。本ガイドは，さまざまなシリコンウェーハ製品の適切な仕様に記載するためのそのような様式の作成方法およびさまざまな様式を，発注書を作成するときに協調して機能させることができる方法について示す。
本ガイドには，次の項目も含め，仕様書を作成する方法について記載する。
- 様式の項，様式の列，様式のヘッダを特定する方法。
- 行のフォーマットおよび項目の番号付けの指示事項。
- 与えられたウェーハ製品に適切な新しい項目を様式に追加する方法。
- 仕様内に無い様式の別の項から新しい項目を参照する方法。
- 特定のウェーハの重要なパラメータを記載した発注書の様式の項の1つではあるが，そのウェーハの仕様書の発注書に記載されていない項に責任があるグループからの新たな追加を要求する方法。
- 行のフォーマットおよび項目の番号付けの指示事項。
本ガイドでは，発注書の項をリストアップし，記載される場所と使用方法を示す。
本ガイドでは，シリコンウェーハの仕様書の発注情報の項を作成する方法に関する情報を提供する。
Referenced SEMI Standards
SEMI M1 — Specifications for Polished Single Crystal Silicon Wafers
SEMI M8 — Specification for Polished Monocrystalline Silicon Test Wafers
SEMI M16 — Specification for Polycrystalline Silicon
SEMI M24 — Specification for Polished Monocrystalline Silicon Premium Wafers
SEMI M38 — Specification for Polished Reclaimed Silicon Wafers
SEMI M41 — Specification of Silicon-on-Insulator (SOI) for Power Device/ICs
SEMI M57 — Guide for Specifying Silicon Annealed Wafers
SEMI M59 — Terminology for Silicon Technology
SEMI M61— Specification for Silicon Epitaxial Wafers with Buried Layers
SEMI M62 — Specifications for Silicon Epitaxial Wafers
SEMI M71 — Specification for Silicon-on-Insulator (SOI) Wafers for CMOS LSI
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