M02300 - SEMI M23 - 鏡面単結晶インジウムリンウェーハの仕様

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)

注意: SEMI M23の表示は,SEMI M23.6が追加されたことにより,0703の出版サイクルで改訂されたものである。






Subordinate Standards:

SEMI M23.1-0600 — 50 mm鏡面単結晶インジウムリンウェーハの仕様

SEMI M23.2-1000 — 3インチ(76.2mm) 鏡面単結晶燐化インジウムウェーハのスタンダード

SEMI M23.3-0600 — 長方形鏡面単結晶インジウムリンウェーハの規格

SEMI M23.4-0999 — 電子デバイスならびにオプトエレクトロニクス用途100 mm径鏡面単結晶インジウムリンウェーハ仕様(ドーブテイルタイプ)

SEMI M23.5-1000 — 電子デバイスならびにオプトエレクトロニクス用途100 mm径鏡面単結晶


SEMI M23.6-0703 — 150 mm鏡面単結晶インジウムリンウェーハ(ノッチ付き)の仕様


Referenced SEMI Standards

SEMI M39 — Test Method for Measuring Resistivity and Hall Coefficient and Determining Hall Mobility on Semi-Insulating GaAs Single Crystals

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